日本小坂KOSAKA 轮廓仪|轮廓形状测定机EF651D
日本小坂KOSAKA 轮廓仪 | 轮廓形状测定机EF651D特点
★ 采用数字式传感器、执行高精度的轮廓形状评价。
★ 多种解析功能：方位向量解析、滚珠螺杆解析、非球面解析。
★ 测定资料图表可自由编组表格。
日本小坂KOSAKA 轮廓仪 | 轮廓形状测定机EF651D产品参数
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测定范围
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Z:60mm X: 100mm
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测定精度
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士(0.8+2H/100)um
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触针/测定力
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R25um 30mN以下
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测定角度
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上坡77° 下坡87°
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解析
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要素解析/方位向量/MASTER比较/ 滚珠螺杆/非球面解析
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分解能
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Z:0.025um
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直线度精度
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1.0um/100mm
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