日本日立台式大气压扫描电镜AeroSurf 1500

日本日立台式大气压扫描电镜AeroSurf 1500概述

不仅可在真空下，还可在大气压下进行SEM观察

含水样品也无需前处理即可直接观察

大气压观察

样品设置在标准大气压环境下(105 Pa)

配置样品的大气压仓室与SEM内部由隔膜分离，在保持SEM内部真空的同时，可对样品进行电子束照射观察

而且，可通过附带的真空泵在负压下(约103～105 Pa)进行观察

低真空观察

隔膜可拆卸，还可进行低真空SEM观察和EDX分析

搭载了日立台式显微镜TM系列中广为采用的高灵敏度半导体背散射电子检测器

日本日立台式大气压扫描电镜AeroSurf 1500特点

★ 含水样品也无需前处理即可在大气压下进行SEM观察
★ 从低真空到大气压(数 Pa～105 Pa)，可在大范围压力下进行SEM观察
★ 标准搭载ES-Corrector(电子束散射校正)图像改善功能
★ 在真空模式下，除了通常的SEM观察之外，还可进行EDX分析(选配)
★ 主机采用330 mm宽度的小型设计，实现节省空间和高便利性
★ 无需等待抽真空时间，快速实现从搭载样品到观察图像的全过程