林赛斯薄膜综合物性分析仪TFA概述
基本测量单元 : 测量室,真空泵,带加热器的支架,电子颊侧装置,集成锁相放大器,3w方法分析软件,计算机和应用软件。可测以下物理参数: l -热传导系数 (稳态法/平面内方向) r – 电阻率 s – 电导率 S – 赛贝克系数 e – 发射率 cp – 比热容
磁测量单元: 可根据需求选择集成式电磁铁,可测物理参数如下: AH – 霍尔常数 μ –迁移率 n -载流子浓度
薄膜材料性能有别于块体材料之处
– 因小尺寸和高纵横比所导致的表面效应如:边界散射和量子限域效应
林赛斯薄膜综合物性分析仪TFA特点
★ 高效便捷的薄膜材料表征手段(nm到um薄膜测试)。 ★ 不同温度下的测量(-170 to 200℃<-可选300℃>) ★ 样品易于制备和处理 ★ 高的测量适应性 (样品厚度,电阻率,沉积方式) ★ 一个样品,一次同步测量即可获得所有相关参数。 ★ 适用于金属、陶瓷及有机材料。
苏公网安备 32050502000404号